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半導體制造
- 分類：行業應用
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2021-09-15
【概要描述】半導體制造?應用簡述：電子元器件測試分選設備的三軸直角坐標機械手，在視覺系統引導下，取放電子元器件，進行測試和分選?應用挑戰：高低溫環境：低溫-70℃、高溫120℃真空環境：10-5Pa定位精度：小于0.05mm龍門結構：Y軸跨度大，X軸需采用龍門雙驅動???應用圖片?KLS系列真空、高低溫直線模組：X-Y-Z軸直線傳動KECM系列真空、高低溫伺服電機：X-Y-Z軸伺服驅動?KVM系列真空、高低溫步進電機
半導體制造
【概要描述】半導體制造?應用簡述：電子元器件測試分選設備的三軸直角坐標機械手，在視覺系統引導下，取放電子元器件，進行測試和分選?應用挑戰：高低溫環境：低溫-70℃、高溫120℃真空環境：10-5Pa定位精度：小于0.05mm龍門結構：Y軸跨度大，X軸需采用龍門雙驅動???應用圖片?KLS系列真空、高低溫直線模組：X-Y-Z軸直線傳動KECM系列真空、高低溫伺服電機：X-Y-Z軸伺服驅動?KVM系列真空、高低溫步進電機
- 分類：行業應用
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2021-09-15
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半導體制造
應用簡述：電子元器件測試分選設備的三軸直角坐標機械手，在視覺系統引導下，取放電子元器件，進行測試和分選。
應用挑戰：
高低溫環境：低溫-70℃、高溫120℃
真空環境：10-5Pa
定位精度：小于0.05mm
龍門結構：Y軸跨度大，X軸需采用龍門雙驅動
產品應用：
KLS系列真空、高低溫直線模組：X-Y-Z軸直線傳動
KECM系列真空、高低溫伺服電機：X-Y-Z軸伺服驅動
KVM系列真空、高低溫步進電機：Z軸工具端旋轉
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